日前,荷兰光刻厂商ASML NV的高管表示,随着行业继续朝着生产部署常被拖延的下一代光刻技术的目标迈进,该公司预计明年将出货20至24套极紫外(EUV)光刻工具。

在发布该公司第一季度财报后,ASML公司总裁兼首席执行官Peter Wennink告诉分析师,该公司继续向其每小时生产125片晶圆、90%光源可用性的EUV目标推进。Wennink提到英特尔、三星和台积电在近期举行的SPIE高级光刻会议上所做的演讲,它们展示了它们使用EUV系统的最新成果以及EUV基础设施的状况。

“虽然在诸如蒙膜(pellicle)等方面仍待完善,但就我们客户所展示的来看,在时间框架内插入EUV似乎没有重大障碍。”Wennink说。

经过多年经常令人沮丧和痛苦的发展,EUV现已准备好在未来几年内,从7nm节点开始,由英特尔、台积电和三星等公司部署在生产中;所有这三家公司都对ASML进行了资金投入,作为客户投资计划的一部分,以帮助该公司开发相关技术。

ASML周三表示,该公司有21台NXE:3400B EUV系统(其最先进的EUV工具)的订单,今年开始交付,价值23亿欧元(约合24.6亿美元)。ASML还有14套较旧的3300和3350系统在使用,其中大部分预计将会升级。

半导体行业市场观察机构VLSI Research的首席执行官G. Dan Hutecheson告诉笔者:ASML的报告并没有关于EUV光刻技术的意外消息。

“基本上是按部就班。” Hutecheson说,“当然,现在的大问题是,你是否能够真正把它放到系统可靠的地方,并使其完全融入生产中?这正是现在大家都在做的。”

Wennink表示,待发的21套系统来自五家独立客户(大概包括英特尔、三星、台积电和格罗方德)的订单。Wennink表示,ASML已经有两家其他客户的EUV订单接近落地,这表明其他顶级芯片制造商正在紧随英特尔、台积电和三星其后,部署EUV。

“当然,很明显,在EUV引入方面,英特尔、台积电和三星是‘前三甲’,而其他家,则明显紧随其后,”Wennink说。

ASML在EUV上的进展是其整体强劲的季度财报的亮点,其销售和利润皆超过了分析师的预期。

Wennink在电话会议上告诉分析师:“我们今年第一季度取得开门红,我们预计这一势头将持续全年。”

ASML第一季度的净销售额为19.4亿欧元(约合20.8亿美元),环比增长2%,同比增长46%。ASML报告其第一季度净收入为4.52亿欧元(约合4.84亿美元),环比下降了14%,但同比增长了128%。

ASML表示,第二季度,预计销售额将在19亿欧元到20亿欧元之间,略低于分析师预期。