广告

MIT微加工技术可将3D晶体管工艺缩小至2.5nm

时间:2018-12-10 阅读:
麻省理工学院和科罗拉多大学的工程师近日成功研发出新的微加工技术,可用于生产有史以来最小的3D晶体管,尺寸是目前主流商用产品的三分之一。

摩尔定律是指计算机芯片上的晶体管数量每隔2年左右会翻一番,并在过去数十年中成功验证。不过伴随着生产工艺要求的提升,越来越多的人质疑未来摩尔定律是否依然有效。麻省理工学院和科罗拉多大学的工程师近日成功研发出新的微加工技术,可用于生产有史以来最小的3D晶体管,尺寸是目前主流商用产品的三分之一。

069ednc20181210

几年前,芯片行业的标准是14nm生产工艺,是指每个晶体管的宽度。目前在商业领域,iPhone XR、iPhone XS和iPhone XS Max上装备的A12 Bionic芯片就是7nm生产工艺,而且目前已经有生产厂商开始试验5nm生产工艺。而研究人员开发的一些新晶体管再次将其减半,根据测量创纪录的达到2.5纳米宽。

 

为了制造它们,该团队在新进开发的微加工工艺热原子层蚀刻(thermal ALE)基础上进行了改进。首先他们将称之为铟镓砷(indium gallium arsenide)的合金半导体材料暴露于氟化氢(hydrogen fluoride)上,用于在基板表面上形成薄薄的金属氟化物层。

接下来该团队添加了一种名为二甲基氯化铝(DMAC)的有机化合物,用于触发配位体交换(ligand exchange)的化学反应。DMAC中名为“ligands”的离子和金属氟化物层中的原子结合,因此当DMAC被清除时,它将单个原子从金属表面上剥离。每次刻蚀仅0.2纳米,当重复数百次过程时,蚀刻精度可以达到令人惊叹的地步。

该研究的第一作者卢文杰说:“这就有点像是一层层的剥洋葱。在每个循环中,我们只能蚀刻掉2%的纳米材料。这使我们具有超高的精度和对过程的精确控制。”研究人员使用该技术制造了FinFET(鳍片场效应晶体管),通常情况下精度为5nm,而最高精度可以达到2.5纳米。

(来源:cnBeta

 

本文为EDN电子技术设计 原创文章,禁止转载。请尊重知识产权,违者本司保留追究责任的权利。
  • 微信扫一扫
    一键转发
  • 最前沿的电子设计资讯
    请关注“电子技术设计微信公众号”
您可能感兴趣的文章
  • IEEE内部邮件曝光,下令清理华为系审稿人! 原先他们说政府不能干涉企业,然后他们的企业纷纷参与到制裁华为的国家行动中。原先他们说自由贸易,全球一体化,然后在5g面前开始闭关锁国了。原先他们说科技无国界知识无国界,然后IEEE禁止华为员工作为旗下期刊杂志的编辑和审稿人了。这次真的给我们上了一课。
  • 美国限制令“火了”粤海街道,被称为“中国硅谷”的南山 南山区被称为“中国硅谷”。据统计,目前注册地址在深圳南山区的A股上市公司有114家,且多为高新技术行业。与之对应的是北京海淀区有116家,上海浦东新区有19家。这114家中,包含医药生物6家、信息设备18家、信息服务19家、电子21家。
  • 互联网公司要做手机?亚马逊/微软都栽了,字节跳动能成功? 习惯轻资产运营、小步快走的互联网公司,开始布局需要重资产运营的智能硬件,这过程并不容易。毕竟做智能硬件比软件要复杂和困难太多。做一个软件,从设计、上线到迭代、运营,都可以在云端完成。
  • 美国打压华为是两败俱伤?这十余家海外公司严重受损 近期,根据美国商务部在其官方网站发布的新闻,美国商务部的工业和安全局(BIS)把华为公司加入其Entity List(实体清单),其法律依据是美国《出口管理条例》。随后,美国各大半导体公司接到美国政府通知,停止对华为供货。华为作为全球第一大通信主设备商,此事件对通信行业造成较大冲击,下文将对其影响进行简要分析。
  • 飞机的AOA传感器设计 攻角(AOA)传感器分别位于飞机两侧,用于作为冗余和比较,测量机翼翼弦与相对气流之间的夹角。然而,波音公司却将第二个AOA传感器作为选配…
  • 被美国严防死守5颗电子芯片,能卖给中国算奇迹 这些国宝级的芯片,也是美欧科技工作者的技术结晶,所以,美国人对这些芯片的渠道管控,比人口管控还要严格。中国是受控的国家之一,也是美国严防死守的竞争对手。
相关推荐
    广告
    近期热点
    广告
    广告
    广告
    可能感兴趣的话题
    广告