几十年来,硅(Si)一直是半导体行业的主要材料——从微处理器到分立功率器件,无处不在。然而,随着汽车和可再生能源等领域对现代电力需求应用的发展,硅的局限性变得越来越明显。
随着行业不断探索解决方案,宽禁带(WBG)材料,包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN),被视为解决之道。禁带宽度描述了价带顶部和导带底部之间的能量差。硅的禁带宽度相对较窄,为1.1电子伏特(eV),而SiC和GaN的禁带宽度分别为3.3eV和3.4eV。
图 1 - 宽禁带材料的物理特性(资料来源:安森美)
这些特性意味着宽禁带材料的特性更像绝缘体,能够在更高的电压、频率和温度下工作。因此,它们非常适合用于电动汽车(EV)和可再生能源等领域的功率转换应用。
碳化硅(SiC)并非新鲜事物,作为研磨材料已有超过一个世纪的生产历史。然而,由于具有适合高压、大功率应用的诱人特性,SiC正逐渐崭露头角。SiC的物理特性,如高热导率、高饱和电子漂移速度和高击穿电场,使得SiC设计相比硅MOSFET或IGBT具有极低的损耗、更快的开关速度和更小的几何尺寸。
许多业内人士将SiC视为具有竞争优势的原材料,因为它能够在减小尺寸、重量和成本的同时提高效率。由于SiC系统的工作频率更高,无源器件的体积更小,损耗更低,因此所需的散热措施也更少。最终,这将实现许多现代应用所需的更高功率密度。
图 2 - SiC 在许多应用中都具有优势(来源:安森美)
在选择材料的同时,在SiC功率器件中采用新的裸片连接技术有助于消除器件中的热量。烧结等技术可在裸片和衬底之间形成牢固的结合,并确保可靠的互连性。因此,它可以提高热传导效率,改善散热性能。
SiC通常用于高压应用(>650V),但在 1200V 及更高电压下,碳化硅开始发挥显著作用,成为太阳能逆变器和电动汽车充电的最佳解决方案。它也是固态变压器的关键推动因素,在固态变压器中,半导体将取代磁性元件。
SiC的制造并不容易,首先,颗粒的纯度必须极高,并且SiC晶锭需要高度的一致性。由于SiC材料永远不会变成液态,因此晶体不能从熔融状态中生长出来,而是需要在气相技术中通过仔细控制的压力来实现,这种技术称为升华法。为了实现这一点,SiC粉末被放置在熔炉中并加热到超过2200°C,使其升华并在籽晶上结晶。然而,即便如此,生长速度也非常缓慢,每小时最多只能生长0.5毫米。
SiC的极端硬度使得即使使用金刚石锯切割也十分困难,这使得与硅相比,制造晶圆更具挑战性。虽然可以使用其他技术,但这些技术可能会在晶体中产生缺陷。
由于SiC是一种非常容易产生缺陷的材料,且掺杂工艺具有挑战性,生产出缺陷少的大尺寸晶圆并不容易。尽管如此,安森美(onsemi)公司现在已可以常规生产8英寸的衬底。